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半導(dǎo)體制程(支撐)材料

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高純氫

更新時(shí)間:2020-07-04 點(diǎn)擊數(shù):2607

高純氫(H2)是一種無(wú)色無(wú)臭的可燃?xì)怏w,在空氣中的可燃極限為4.1%~74.1%(體積濃度),其自燃溫度為571.2℃,沸點(diǎn)為-252.8℃,熔點(diǎn)為-259.2℃。常溫下,氫氣的性質(zhì)很穩(wěn)定,不容易跟其它物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。高純氫在電子微芯片等行業(yè)中有著非常重要的應(yīng)用,在一些電子材料的生長(zhǎng)與襯底的制備、氧化工藝、外延工藝以及化學(xué)氣相沉積技術(shù)中,均采用氫氣作為反應(yīng)氣、還原氣或保護(hù)氣。

產(chǎn)品指標(biāo)

產(chǎn)品用途:

氫是主要的工業(yè)原料,也是重要的工業(yè)氣體和特種氣體。在電子微芯片的制造中,需要采用氫氣作為反應(yīng)氣、還原氣或保護(hù)氣。除此之外,氫氣在石油化工、冶金工業(yè)、食品加工、浮法玻璃、精細(xì)有機(jī)合成、航空航天等方面有著廣泛的應(yīng)用。同時(shí),氫也是一種理想清潔的二次能源,航天工業(yè)中更是使用液氫作為燃料。    

包裝、貯存:

高純氫充裝在鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶中,鋼瓶規(guī)格為10L、40L。具體包裝規(guī)格可根據(jù)客戶需求定制更改。高純氫儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫(kù)房中,遠(yuǎn)離火種、熱源。庫(kù)房采用防爆型照明、通風(fēng)設(shè)施,庫(kù)溫不超過(guò)30 ℃,相對(duì)濕度不超過(guò)80%。



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