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半導體制程(支撐)材料

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三氟化磷

更新時間:2020-12-04 點擊數:1594

三氟化磷,是一種無機化合物,化學式為PF3,在常溫常壓下為無色無味的有毒氣體,液態時為無色透明液體,空氣中不太發煙,相當穩定,加熱時與氫反應生成PH3,能與水反應生成亞磷酸和氟化氫。堿中也能分解。可溶于乙醇。除在高溫外,不腐蝕玻璃


產品指標:

 產品用途

三氟化磷是一種重要的化學試劑,在工業和科研領域有著多種用途。在半導體制造過程中,三氟化磷可作為摻雜劑,用于摻雜硅等半導體材料,從而改變其電子特性。


包裝、貯存:

三氟化磷充裝在鋼質無縫氣瓶中,鋼瓶容積分別為10 L、50L、100L等。具體包裝規格可根據用戶需求定制更改。

儲存于陰涼、干燥、通風良好的庫房。遠離火種、熱源。防止陽光直射。保持容器密封。應于堿類、氧、氟、食用化學品等分開存放,切記混儲。儲區應備有泄露應急處理設備。



備案號:魯ICP備17016486號-5

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